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工件完成加热、保温后移入前室，关闭中门后向前室充入惰性气至大约2．66%26times;lO～1．01%26times;10Pa(200～760mm柱)，入油。油淬易惹起工件外表蜕变。由于外表活性大，在短暂的高温油膜作用下即可发作显著薄层渗碳，此外，碳黑和油在外表的粘附对简化热处置流程很不利。真空淬火技术的开展主要在于研制性能、工位单一的气冷淬火炉。前述双室式炉亦可用于气淬(在前室喷气冷却)，但双工位式的操作使大批量装炉的消费发作艰难，也易在高温挪动中惹起工件变形或改动工件方位增加淬火变形。单一工位的气冷淬火炉是在加热保温完成后在加热室内喷气气冷的冷速不如油冷快，也低于传统淬火法中的熔盐等温、分级淬火。因此，不时进步喷冷室压力，增大流量，以及采用摩尔质量比氮和氩小的惰性气体氦和氢，是当今真空淬火技术开展的主流。70年代后期将氮气喷冷的压力从(1～2)%26times;10Pa进步到(5～6)%26times;10Pa，使冷却才能接近于常压下的油冷。80年代中期呈现超高压气淬，用(10～20)%26times;10Pa的氦，冷却才能等于或略高于油淬，已进入工业适用。90年代初采用40%26times;10Pa的氢气，接近水淬的冷却才能，尚处于起步阶段。工业兴旺已停顿到以高压(5～6)%26times;10。Pa气淬为主体，而中国产气淬一些金属的蒸气压(理论值)与温度的关系则尚处于普通加压气淬(2%26times;10Pa)型阶段。
真结果真空渗碳为真空渗碳一淬火工艺曲线。在真空中加热到渗碳温度并保温使外表净化、活化之后，通入稀薄渗碳富化气(见控制氛围热处置)，在大约1330Pa(10T0rr)负压下停止渗入，然后停气(降压)停止扩散。渗碳后的精细钢管淬火采用一次淬火法，即先停电，通氮冷却工件至临界点A，、以下，使内部发作相变，再停气、开泵，升温到Ac1，～Accm之间。淬冷办法可采用气冷或油冷。后者为奥氏体化后移入前室，充氮至常压，入油。